真萍科技自动管式炉与普通管式炉比有何优势？
管式炉用于陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、新材料开发、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、材料处理、质量检测之用。真萍科技拥有成熟的自动管式炉定制生产技术，其生产的自动管式炉与普通管式炉相比，有着很大不同，下面为大家简单介绍一下其产品系统组成优势。
1.FAB上下料
2个上下料口(并列)
FOUP ID 识别
Wafer位置识别
操作启动开关
2.晶元输送
2.1FBA开盖
FOUP固定,解锁,取盖
2.2晶元输送机械手
双臂式传输
高纯度AL2O3托盘
按规划路径将晶元从FOUP传送至炉体装 料腔中
2.3炉体开盖
将炉体装料腔腔门打开
3.炉体(热处理)
3.1加热腔
外部采用不锈钢外套,中部采用FEC加热器和相应保温材料,内部为石英炉管
多层环形加热器,有效使用高度 > 1000mm
底部通入工艺气氛,O2和N2可编程选择
烟气冷凝回收
底部具有自保护盖体功能
高温焦油裂解功能
降温方式：鼓风机将空气吹入炉管与加热器之间的夹腔，强制风冷降温。
多路多层环形进气,保证炉膛的冷却可控
3.2装料腔
石英支架,处理量为100PCS 12inch晶圆
升降采用移动式滑台机构（无杆电缸）,
4控制柜
4.1气源箱
对于空气,O2,N2进行逻辑控制
调节各路进气的流量
4.2电源箱
动力配电
仪器仪表放置
氧含量分析系统可选
5.控制系统
人机界面采用触摸屏方式
核心控制器采用嵌入式控制器
超温保护为独立检测器件
具有氧含量检测功能
运动控制为伺服/步进控制单元
传输为专业晶元传输机器人
软件具有功能:温度控制,气氛控制,工艺编辑,数据记录,图表显示.
真萍科技作为专业的自动管式炉炉设备制造厂商，可根据客户特殊需求定制您需要的满意产品，有需求的客户详情请咨询400-608-2908。
