真萍科技自动管式炉的产品结构特点。
管式炉用于陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、新材料开发、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、材料处理、质量检测之用。真萍科技拥有成熟的自动管式炉定制生产技术,其生产的自动管式炉有以下结构特点。
一、基本配置
1.处理产品:12inch 晶圆
2.处理量:90PCS/管,共180PCS
3.加热器:圆形FEC加热板
4.加热区域:>1000mm
5.外形尺寸:
本体:2500×3500×3500(W×D×H)
控制柜:800×600×2200(W×D×H)
6.上料口:2
7.机械手:1
二、技术指标
1.长期使用温度: 350℃,安全温度:750℃以下;
2.升温速率:>30℃/min
3.降温速率:>5℃/min
4.加热功率:36kW(单炉);
5.加热温区: 3个;
6.炉温均匀性: ±7℃(350℃恒温);
7.程序控制:P.I.D控制;
8.温度控制方式: SSR
9.控温热偶: K分度;
10.气氛: N2/O2;
11.炉膛材料:石英玻璃;
12.保温材料:陶瓷纤维;
13.气氛控制:多路流量计调节进气,流量计量程为24~240L/min;
14.排气系统:在顶部设置排气烟囱,用于废气排放,回收;
15.设备重量:约2t;
真萍科技作为专业的自动管式炉炉设备制造厂商,可根据客户特殊需求定制您需要的满意产品,有需求的客户详情请咨询400-608-2908。